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电子工业用气体 高纯氯标准编号:GB/T 18994-2014 标准状态:现行 标准简介 本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。 本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规 模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。 分子式:Cl2。 相对分子质量:70.90(按2009年国际相对原子质量计算)。 英文名称: Gases for electronic instry—High purity chlorine 替代情况: 替代GB/T 18994-2003 中标分类: 化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 ICS分类: 化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 发布部门: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布日期: 2014-12-22 实施日期: 2015-07-01 提出单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203) 归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203) 起草单位: 西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司 起草人: 周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任 页数: 12页 出版社: 中国标准出版社 出版日期: 2015-07-01 相关搜索: 电子工业 气体 [ 评论 ][ 关闭 ] 前言 本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准代替 GB/T18994—2003《电子工业用气体 高纯氯》。与 GB/T18994—2003相比,除编辑性修改外主要技术内容变化如下: ———修改了范围(见第1章,2003年版的第1章); ———修改了规范性引用文件(见第2章,2003年版的第2章); ———修改了技术要求(见第3章,2003年版的第3章); ———修改了抽样、判定(见4.1,2003年版的第5章); ———删去了取样装置的规定(2003年版的4.1); ———修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法(见4.3,2003年版的4.3、4.4); ———增加了氢含量的测定方法(见4.3); ———修改了水分含量的测定方法(见4.4,2003年版的4.5); ———增加了金属元素含量的测定方法(见4.5); ———修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,2003年版的第6、7章)。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司。 本标准主要起草人:周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: ———GB/T18994—2003。 引用标准 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则 GB5099 钢质无缝气瓶 GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法 GB7144 气瓶颜色标志 GB11984 氯气安全规程 GB14193 液化气体气瓶充装规定 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB16804 气瓶警示标签 GB/T26571 特种气体储存期规范 GB/T28726—2012 气体分析 氦离子化气相色谱法 气瓶安全监察规程(2000版) 危险化学品安全管理条例(2002版) 特种设备安全监察条例(2009版)