基本信息姓名：李孝禄性别：男学位：博士职称：副教授一级学科：控制科学与工程二级学科：检测技术与自动化装置二级学院：机电工程学院一级学科2：动力工程及工程热物理

基本信息姓名：李璟性别：女学位：博士职称：副教授一级学科：控制科学与工程二级学科：检测技术与自动化装置二级学院：机电工程学院研究方向：太赫兹技术与应用、生物电磁场

基本信息姓名：柯海森性别：男学位：博士职称：副教授一级学科：控制科学与工程二级学科：控制理论与控制工程二级学院：机电工程学院研究方向：自适应控制、鲁棒控制办公电

基本信息姓名：高坚性别：男学位：博士职称：副教授一级学科：控制科学与工程二级学科：控制理论与控制工程二级学院：机电工程学院研究方向：刚体姿态控制；系统协调与优化

基本信息姓名：陈卫民性别：男学位：博士职称：副教授一级学科：控制科学与工程二级学科：检测技术与自动化装置二级学院：机电工程学院研究方向：新能源发电，参数检测办公

基本信息姓名：蔡慧性别：男学位：博士职称：副教授一级学科：控制科学与工程二级学科：检测技术与自动化装置二级学院：机电工程学院研究方向：电力电子技术、新能源发电、检测

基本信息姓名：洪治性别：男学位：博士职称：研究员一级学科：控制科学与工程二级学科：检测技术与自动化装置二级学院：机电工程学院一级学科2：控制科学与工程二级学科2

基本信息姓名：朱云性别：男学位：学士职称：教授一级学科：控制科学与工程二级学科：控制理论与控制工程二级学院：机电工程学院研究方向：自动化建模技术、检测技术与装置

基本信息姓名：严天宏性别：男学位：博士职称：教授一级学科：控制科学与工程二级学科：检测技术与自动化装置二级学院：机电工程学院一级学科2：机械工程二级学科2：机械设计及理论研究方向：动力学分析与优化、模态分析与测试、振动与噪声控制、精密机电系统与伺服控制办公地点：仰南207-1办公电话：0571-86914578Email：yanth@163.com在研课题[1]2010年6月获批浙江省“杰出青年”基金资助；[2]2010年9月“高速超精系统的耦合动力学建模与误差补偿模型研究”获批国家自然科学基金资助（2011.1-2013.12）；[3]2010年11月，获得流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金资助；[4]2011年01月，获得数字制造与装备技术国家重点实验室开放基金资助；[5]2011.03某大型叉车的振动传递及模态分析测试及动力学优化；[6]2013.03某大型的护顶架焊接变形分析与预测及关键控制参数研究．等获奖情况1．2006年1月被上海微电子装备有限公司评为“先进员工”；2．2006年8月获得上海“浦江人才计划”（A类资助），于2008年8月获评“出色地”完成了任务；（★）3．2008年1月，主持的863重大专项子项目“光刻机机电联合仿真与虚拟试验台”被评为优秀科技成果奖；4．2008年1月，主持的863重大专项子项目“超精密主动减振控制与智能诊断平台”被评为优秀科技成果奖；5．2008年1月获得教育部“自然科学奖”（一等奖）一项；（★）6．2010年01月，获得浙江省新世纪151人才工程资助（第三层次）。（★）7．2011年01月，获得浙江省新世纪151人才工程资助（第二层次）。（★）8．2011年01月，获评校“先进科技工作者”；9．2011年01月，获评校“优秀班主任”；近期发表的主要成果SelectedRecentPublications：（标*为通信作者）1．T.H.Yan*,B.He,X.D.Chen,X.S.Xu,2013.Discrete-TimeSlidingModeControlWithComputationTimeDelayAndRROCompensationForHardDiskDrives.MathematicalProblemsinEngineering,AnInternationalJournal.Vol.2013,PaperID,2013(SCI,IF=0.777).InPressing2．B.He,B.R.Wang,T.H.Yan,Y.Y.Han,2013.ADistributedParallelMotionControlfortheMulti-thrusterAutonomousUnderwaterVehicle,MechanicsBasedDesignonStructuresandMachines,AnInternationalJournal.Vol.42(2):236-257,2013(SCI,EI).3．T.H.Yan*,X.S.Xu,J.Q.Han,etal,2011.OptimizationofSensingandFeedbackControlforVibration/FlutterofRotatingDiskbyPZTActuatorsviaAirCoupledPressure.Sensors.2011;11(3):3094-3116.(SCI,IF=1.774)4．X.S.Xu,T.H.Yan*,X.Z.Tao,T.R.Zhu,D.Li,2012,GeneratingNCProgrambasedonTemplateforMassCustomizationProct,AssemblyAutomation,Vol.32(3):.(SCI,IF=0.645)5．J.Q.Han,X.F.Wang,T.H.Yan,X.B.Song,etal.2012,ANovelMethodofTemperatureCompensationForPiezoresistiveMicrocantilever-BasedSensors,ReviewofScientificInstruments,83(3):035002/1~6(SCI,IF=1.598)6．B.He,S.J.Zhang,T.H.Yan*,TaoZhang,Y.Liang,H.J.Zhang,2011.ANovelCombinedSLAMBasedonRBPF-SLAMandEIF-SLAMforMobileSystemSensinginaLargeScaleEnvironment,Sensors,Vol.11(3),pp.10197-10219.(SCI,IF=1.774)7．B.He,H.J.Zhang,C.Li,S.J.Zhang,Y.Liang,T.H.Yan*.2011.AutonomousNavigationforAutonomousUnderwaterVehiclesBasedonInformationFiltersandActiveSensing.Sensors.Vol.11(11):10958-10980(SCI,IF)8．T.H.Yan,H.Y.Pu,X.D.Chen,Q.Li,C.Xu,2010,IntegratedHybridVibrationIsolatorwithFeedforwardCompensationforFastHigh-PrecisionPositioningX/YTables.IOPJournalofMeasurementScienceandTechnology.2010;Vol.21(6):065901-065910.(SCI,EI)9．T.H.Yan,etal,2010,TheDiscrete-timeSlidingModeControlforHigh-PrecisionStagesofMicro-ElectronicsEquipments,ControlEngineering(ChineseJournal),Vol.17(4):430-435.10．T.H.Yan,H.Y.Pu,Q.Li,C.Xu,X.D.Chen,2010,DynamicAbsorberDesignforActuatorArmofHardDiskDrivesonImpactResistImprovement.MechanicsBasedDesignonStructuresandMachines,AnInternationalJournal.Vol.38(1):50-73(SCI,EI).11．J.Lei,X.Luo,X.D.Chen,T.H.Yan,2010,ModelingAndAnalysisofA3-DOFLorentz-Force-DrivenPlanarMotionStageForNanopositioning,Mechatronics,Vol.20(5),pp.553–565,2010(SCI,EI)12．T.H.Yan,C.Xu,Q.Li,X.D.Chen,2010,ExperimentalStudyonMultisensingControlwithVibrationControlforHigh-PrecisionX/YStages,The10thWSEASInternationalConferenceonROBOTICS,CONTROLandMANUFACTURINGTECHNOLOGY(ROCOM'10),Hangzhou,China.13．T.H.Yan,W.Wang,X.D.Chen,Q.Li,C.Xu,2009,DesignofaSmartUltrasonicTranscerforInterconnectingMachineApplications.Sensors.2009;9(6):4986-5000.(SCI,EI)14．T.H.Yan,X.D.Chen,R.M.Lin,2008,“ServoSystemModelingandRectionofMechatronicSystemThroughFiniteElementAnalysisforControlDesign”,Mechatronics,Vol.18(9):466-474,2008.(SCI,EI)15．T.H.Yan,X.D.Chen,W.F.Dou,R.M.Lin,2008,“FeedbackControlofDiskVibrationandFlutterbyDistributedSelf-SensingActuators”.MechanicsofStructuresandMachines,AnInternationalJournal.36(3):1-23,2008(SCI,EI)16．T.H.Yan,X.D.Chen,R.M.Lin,2007,“VibrationInteractionCharacteristicsofDisks-SpindleinHardDiskDrives”.AnInternationalJournalforMechanicsBasedDesignofStructures&Machines.Vol.35(1):97–112,2007.(SCI,EI)17．T.H.Yan,R.M.Lin,2006,“GeneralOptimizationofSizesorPlacementForVariousSensors/ActuatorsinStructureTestingandControl”.IOPJournalofSmartMaterialandStructures.Vol.15(1),2006.(SCI,EI)18．T.H.Yan,G.W.Zhang,R.M.He,2006,“NewProgressesonDynamics,Vibration&Control.”(BookinChinese)Chapter:IntegratedHybridVibrationIsolatingTechnologyforHigh-PrecisionSemiconctorEquipments.”Beijing:ChinaNationalAstronauticsPress,July2006.(PDF)19．T.H.Yan,W.Chen,2005,“Quasi-RigidModeofBondHeadAssemblyinWireBondingMachinesanditsImprovement”.AnInternationalJournalforMechanicsBasedDesignofStructures&Machines.Vol.33(4)2005.(SCI,EI)20．T.H.Yan,R.M.Lin,2004,“Dual-MassAbsorberfortheHeadActuatorAssemblyofHardDiskDrives”.AnInternationalJournalforMechanicsBasedDesignofStructures&Machines.Vol.32(2),2004.(SCI,EI)21．T.H.Yan,R.M.Lin,2003,”ExperimentalInvestigationonPivotNonlinearityandAccurateCompensationforServoControlinHardDiskDrive.”IEEETransactionsofMagnetics.Vol.39(2),March2003.(SCI,EI)22．T.H.Yan,R.M.Lin,2004,“VibrationCharacteristicsofDisks-SpindleSystemInteractionInHardDisks.”IEEE/ASMEAsia-PacificMagneticRecordingConferenceKorea,2004.23．T.H.Yan,R.M.Lin,2002,"FiniteElementModelingandModalTestingofVibrationCharacteristicsofDiskDrives.”InternationalModalAnalysisConference(IMAC)-XX,LosAngeles,CaliforniaUSA,Feb.4-7,2002.24．T.H.Yan,R.M.Lin,2002,"ServosystemmodelingandRectionforHardDiskDrivesthroughFiniteElementMethod.”ASME13thInternationalSymposiumsforInformationStorageandProcessingSystem,SantaClara,CaliforniaUSA,Jun.17-18,2002.25．T.H.Yan,R.M.Lin,2002,“Discrete-TimeSlidingModeControlWithComputationTimeDelayAndRROCompensationForHardDiskDrives.”IEEE/ASMEAsia-PacificMagneticRecordingConference2002,Singapore,Aug.26-28,2002.26．T.H.Yan,R.M.Lin,2002,“Discrete-TimeSlidingModeRepetitiveControlforTrack-FollowingSystemofAnOpticalDiskDrives.”IEEE/ASMEAsia-PacificMagneticRecordingConference2002,Singapore,Aug.26-28,2002.27．T.H.Yan,R.M.Lin,2002,“FeedbackControlofDiskVibrationandFlutterbyDistributedSelf-SensingActuators.”IEEE/ASMEAsia-PacificMagneticRecordingConference2002,Singapore,Aug.26-28,2002.28．R.M.Lin,Y.Y.Wang,T.H.Yan,J.Y.Zhou,2001,“CompensationforMechanicalResonanceinHeadActuatorAssemblyofHardDiskDrivesbyMulti-SensingControl.”TechnicalReportforInstryProject(SONYSingaporeResaerchLab).Oct.2001.Totally104pages.------------------------------------------------------------------------------******SomePapersPublishedDuringTutoringtheMaster/PhDCandidates*****:------------------------------------------------------------------------------29．X.D.Chen，X.Z.Yu,X.M.He,T.H.Yanetal.2008,Dynamiccharacteristicanalysisofprecisionlongstrokelinearmotorwithair-bearinginopticallithography.ChineseJournalofMechanicalEngineering(EnglishEdition).Vol.21(2),2008.30．X.D.Chen，H.Z.Guo,T.H.Yan，X.Z.Yu.2007,ThedynamicscharacteristicandoptimizationoftheMainPlateofLithographyEquipment.MechanicalEngineeringofChina(InChinese).Vol.18(21),2007.31．Y.Sun,X.D.Chen,T.H.Yan,W.C.Jia,2006,MolesDesignofaReconfigurableMulti-LeggedWalkingRobot,IEEEInternationalConferenceonRoboticsandBiomimetics,2006.ROBIO'06.Onpage(s):1444-1449,ISBN:1-4244-0570-X32．W.C.Jia,X.D.Chen,T.H.Yan,Y.Sun,M.H.Zhou,2006,BiologicalModelingControlofaMultileggedWalkingRobot,IEEE/RSJInternationalConferenceonIntelligentRobotsandSystems,2006,Onpage(s):5737-5742,ISBN:1-4244-0259-X.33．X.D.Chen,W.Jiang,T.H.Yan,2008,“SymbolicFormulationofLinearizedODEsviaMatrixTransformationforVibrationAnalysisofMultibodySystems”ChineseJournalofMechanicalEngineering.Vol44(6),June2008.34．T.J.Li,T.H.Yan,X.F.Zhang,2007,DynamicAnalysisAndSimulationofASphericalOmni-directionalRollingRobot,JournalofXidianUniversity,Vol.34,No.3:414~417,471,2007.35．T.J.Li,F.J.Wang,T.H.Yan,2008,Case-basedReasoningMethodforFaultRecoverywithExpandedSimilaritySpace,JournalofXidianUniversity(NaturalScience),Vol.35(3):499-503,June2008.36．S.Y.Zhang,X.D.Chen,H.Zhao,T.H.Yan,2008,MotionControlofaPreciseWaferStage,ChineseJournalofMechanicalEngineering,Vol.19,No.12:1474-1479.June2008.37．T.J.Li,T.H.Yanetc,2007,DynamicModelingandSimulationofSphericalOmnidirectionalRollingRobot,JournalofSystemSimulation,Vol.19,No.18：4239~4242,2007.38．S.Y.Zhang,X.D.Chen,H.Zhao,T.H.Yan,2008.MotionControlofSuperPrecisionStage,JournalofHuazhongUniversityofScience&Technology,Vol.36(10):37-40.June2008.39．X.S.Xu,X.Cheng,T.H.Yan,2011,MethodsonParameterCalibrationandToleranceIdentificationofMasterProctVariantModel.JournalofMechanicalEngineering(Chinese),Vol.47(1):132-137,Jan2011.……等等申请的专利（包括第二作者及以后）：发明专利（34）项：（近4年内发明授权19项）01．200710173581.9一种剪式提升装置02．200710172427.X一种工件台平衡质量定位系统（2011-6-15授权）03．200710172429.9工件台平衡质量定位系统04．200710173146.6单孔形标记对准信号处理方法05．200710173575.3光刻设备的探测装置与探测方法06．200810033058.0一种抓手角度可调的夹取装置07．200710172938.1基于自适应纠正处理提高对准信号处理精度的方法（2009.11.11授权）08．200710045581.0一种精密提升装置09．200510026019.4一种精密减振和定位装置10．200510029686.8一种随机响应信号测量与分析的方法11．20051011.1一种精密定位和调整工装（2009.6.24授权）12．200610025895.X一种复合减振式光刻装置（2009.3.11授权）13．200610147842.5悬挂式支撑成像系统及光刻装置14．200710040650.9一种传输控制装置及其控制方法（2010.6.9授权）15．200710040997.3一种多链接传输控制方法16．200710041769.8一种旋转交换的双台系统（2009.6.24授权）17．200710042417.4光刻机工件台平衡定位系统（2009.5.27授权）18．200710043324.3垂向微调及重力补偿装置与光刻机（2010.1.6授权）19．200710041226.6光刻机工件台平衡定位系统（2009.8.12授权）20．200710044559.4光刻装置的对准方法及系统（2009.8.12授权）21．200710044848.4脉冲信号的逼近方法（2009.6.24授权）22．200710046060.7气缸活塞减振装置（2009.6.24授权）23．200810036911.4二维编码归一化对准标记组合及其对准方法和对准系统（2011.5.11授权）24．200810036910.X归一化对准标记组合及其对准方法和对准系统（2011.5.11授权）25．200810038391.0光刻设备的探测装置、探测方法及制造方法（2010.6.2授权）26．200810037649.5六自由度微动台（2010.6.9授权）27．200810200646.9脉冲波强度采样同步的校准方法与系统28．200810200919.X主动减振系统及其预见控制方法（2010.10.27授权）29．200810200647.3信道增益数字均衡自适应校准系统与方法（2011.11.30授权）30．200810201311.9主动减振隔振装置及主动减振隔振系统（2010.6.9授权）31．200810200917.0一种同轴度检测装置32．200910045207.X一种减振支撑装置33．200780050936.3可逆极性解码器电路及相关方法34．201010121928.7一种活塞往复式压缩机“无余隙”机型的分体型吸气阀体及安装方法实用新型专利（7）项：35．200720074739.2活塞气缸减振机构36．200720076163.3垂向微调及重力补偿机构37．200620041223.3一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置38．200620049444.5一种柔性支撑机构39．200720067425.X一种大阻尼精密柔性支撑机构40．200720076162.9一种工件台平衡定位装置41．200720076166.7一种精密提升装置带领课题组共申请专利41项，其中34项发明专利，19项发明专利业已授权。主持完成的科研项目主持和主要参与完成的项目：（1）100nm步进扫描光刻机研制（2004-2008）（十五与863重大专项，主要参与，负责整机系统的动力学仿真与机电控制一体化优化，以及精密减振系统设计与研制）；（2）双轴驱动高速高精工件台研制（2006上海浦江人才计划A类，06PJ14020，主持完成）；（3）高速高精运动的生成与控制（国家973计划，2003CB716206）；（参与）（4）超精密主动气浮减振控制与智能诊断平台（国家863重大专项子项目，主持完成）；（5）光刻机机电联合仿真与虚拟试验台（国家863重大专项子项目，主持完成）；等等。个人简历男，1971年5月生于内蒙乌兰浩特市。1999年3月于哈尔滨工业大学航天学院，获得博士学位。主要从事高速高精机器与复杂设备系统的动力学建模与优化、结构工程及振动控制等方面的研究。在实际工作中，已陆续参加和主持了国内外（科技部、中国航天科技集团，中科院重大知识创新、新加坡政府、世界第一大半导体封装设备供应商ASM亚太研究中心，上海微电子装备有限公司等），某大型叉车的模态分析、测试、振动传递机理及动力学优化等多项大型高新项目的研究，参加和承担过国家十五与863重大专项，承担2项有关的重大专项的子项目，如水下无人巡航机器人、后道微电子封装设备（如引线键合机、注塑封装机等）、前道制造设备（100nm光刻机）的研究工作，在业内从事超精密半导体制造设备研制工作多年，攻克了许多技术难关。2009年以来与中国海洋大学水下机器人项目组合作，担任合作教授，已积累较多的工程经验，发表高水平的学术论文60余篇，其中SCI收录近20余篇（其中第一作者16篇），申请了近40项高水平的发明专利，其中19篇业已授权，多次受邀参加国内外举办的高水平的学术会议，并受邀为国际有影响的学术杂志，如IEEETransactionsonMagnetics、IEEETransactionsonControlSystemTechnology与IEEETransactionsonAutomationScienceandEngineering，IEEETransonInstrialElectronics等多种知名杂志之特约审稿人等。于2006年8月获上海浦江人才计划资助的项目“双轴驱动高速高精工件台研制”（A类），在2008年8月获评“出色地”完成；2008年1月曾荣获教育部自然科学奖一等奖（第二完成人）等多个项目奖。*如果发现导师信息存在错误或者偏差，欢迎随时与我们联系，以便进行更新完善。联系方式>>